辽宁省微纳米技术及系统重点实验室/微系统与微制造辽宁省高校重点实验室是集微机电系统、纳米技术、信息光电子技术等为一体的研究机构，也是东三省微机电系统研发联合体牵头单位。实验室正式成立于2004年，其前身是2000年成立的大连理工大学微系统研究中心，重点实验室由中国科学院院士、大连理工大学王立鼎教授发起和组建，现任重点实验室学术委员会主任为王立鼎院士，实验室主任为刘军山研究员。
实验室确定以微纳系统与技术为研究主题，其研究方向为(1)生化微系统与物联网;(2)微纳传感器与执行器;(3)微纳仪器与装备;(4)信息光电子;(5)纳米材料与器件。
